led襯底材料有哪幾種_led芯片襯底材料有哪些 |
發(fā)布時間:2022-05-29 15:44:10 |
LED襯底材料大全: LED襯底材料的概念、作用、種類及性能比較 概念: 襯底又稱基板,也有稱之為支撐襯底。 作用: 襯底主要是外延層生長的基板,在生產和制作過程中,起到支撐和固定的作用。且與外延層的特性配合要求比較嚴格,否則會影響力到外延層的生長或是芯片的品質。 LED襯底材料的種類 目前市面上GaN基系列一般有三種材料可作為襯底:藍寶石(Al2O3);硅(Si);碳化硅(SiC)。 除了以上三種常用的襯底材料之外,還有GaAs、AlN、ZnO等材料也可作為襯底,通常根據設計的需要選擇使用。 1、藍寶石襯底
通常,GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。 優(yōu)點: 藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好 藍寶石的穩(wěn)定性很好能夠運用在高溫生長過程中 藍寶石的機械強度高,易于處理和清洗 缺點 晶格失配和熱應力失配,導致外延層中產生大量缺陷,同時給后續(xù)的器件加工工藝造成困難; 藍寶石是絕緣體,電阻率大于1011Ω·cm,無法制作垂直結構的器件; 在外延層上表面制作n型和p型電極,造成了有效發(fā)光面積減少,同時增加了器件制造中的光刻和刻藝過程,使材料利用率降低、成本增加; 藍寶石的硬度非常高,僅次于金剛石,需要的對它進行薄和切割,又增加一筆較大的投資; 藍寶石的導熱性能不是很好 2、硅襯底 目前有部分LED芯片采用硅襯底。 硅襯底的芯片電極可采用兩種接觸方式,分別是L接觸(Lateral-contact , 水平接觸)和V接觸(Vertical-contact,垂直接觸),簡稱為L型電極和V型電極。 通過這兩種接觸方式,LED芯片內部的電流可以是橫向流動的,也可以是縱向流動的。由于電流可以縱向流動,因此增大了LED的發(fā)光面積,從而提高了LED的出光效率。 因為硅是熱的良導體,所以器件的導熱性能可以明顯改善,從而延長了器件的壽命。 3、碳化硅襯底 SiC是IV-IV族二元化合物,也是元素周期表IV族元素中唯一的穩(wěn)定固態(tài)化合物,一種重要的半導體材料。 具有優(yōu)良的熱學、力學、化學和電學性質,不但是制作高溫、高頻、大功率電子器件的最佳材料之一,同時又可以用作基于GaN的藍色發(fā)光二極管的襯底材料。 帶寬隙半導體材料SiC所制功率器件可以承受更高電壓、更大電流、耗盡層可以做的更薄,因而工作速度更快,可使器件體積更小、重量更輕。 碳化硅襯底的導熱性能(碳化硅的導熱系數為490W/(m·K))要比藍寶石襯底高出10倍 以上; 使用碳化硅襯底的芯片電極為L型,兩個電極分布在器 件的表面和底部,所產生的熱量可以通過電極直接導出;同時這種襯底不需要電流擴散層,因此光不會被電流擴散層的材料吸收,這樣又提高了出光效率。 但是相對于藍寶石襯底而言,碳化硅制造成本較高,實現其商業(yè)化還需要降低相應的成本。另外,SiC襯底吸收380納米以下的紫外光,不適合用來研發(fā)380納米以下的紫外LED。 4、氮化鎵 用于GaN生長的最理想襯底是GaN單晶材料,可以大大提高外延膜的晶體質量,降低位錯密度,提高器件工作壽命,提高發(fā)光效率,提高器件工作電流密度。 但是制備GaN體單晶非常困難,到目前為止還未有行之有效的辦法。 5、氧化鋅 ZnO之所以能成為GaN外延的候選襯底,是因為兩者具有非常驚人的相似之處。兩者晶體結構相同、晶格識別度非常小,禁帶寬度接近(能帶不連續(xù)值小,接觸勢壘小)。 但是,ZnO作為GaN外延襯底的致命弱點是在GaN外延生長的溫度和氣氛中易分解和腐蝕。 目前,ZnO半導體材料尚不能用來制造光電子器件或高溫電子器件,主要是材料質量達不到器件水平和P型摻雜問題沒有得到真正解決,適合ZnO基半導體材料生長的設備尚未研制成功。 6、襯底的性能比較 (1)藍寶石、硅和碳化硅三種襯底的性能比較 (2)用于氮化鎵生長的襯底材料性能優(yōu)劣比較 現在GaN基led燈珠使用的基板材料比較多,用于商品化的基板有藍寶石和碳化硅基板兩種。其他的例如GaN、Si、ZnO基板還處于研究開發(fā)階段,離產業(yè)化還有距離。 氮化鎵(GaN) GaNled燈珠用于生長的最理想的基板是GaN單晶體材料,能夠大幅度地推進外延膜的結晶質量,位錯密度,能夠降低前進元件工作壽命、前進發(fā)光功率、前進元件工作電流密度。但是GaN體制備單個晶體非常困難,到目前為止沒有有效的方法。 藍寶石Al2O3 GaNled燈珠在生長中最廣泛使用的基板是Al2O3。其優(yōu)點是化學穩(wěn)定性好,不吸收可見光,價格適中,制作技術比較舊。導熱性差的話,在元件小電流工作中沒有明顯的缺陷,但是在功率型元件大電流工作中問題非常好。 碳化硅SiC SiC作為基板材料使用的面積僅次于藍寶石,現在沒有用于GaNled燈珠商業(yè)化的第三基板。 SiC基板的化學穩(wěn)定性好,導電性好,導熱性好,不吸收可見光等缺點也很好,但是價格太高,結晶質量不好Al2O3和Si,機械加工功能差,其他SiC基板吸收380納米以下的紫外線不適合開發(fā)380納米以下的紫外線LED。 SiC由于基板的有利導電性和導熱性,能夠更好地處理功率型GaNled燈珠裝置的散熱問題,因此在半導體照明技術領域占據重要的方向 與藍寶石相比,SiC和GaN外延膜的晶格匹配得到改善。另外,SiC具有藍色發(fā)光特性,且是低電阻材料,能夠制作電極,能夠在封裝前對外延材料進行完全檢查,SiC提高了作為基板材料的競爭力。 由于能夠容易地理解SiC的層狀結構,所以能夠在基板和外延膜之間獲得高質量的解理面,這大大簡化元件的結構。然而,由于它們的層狀結構,經常出現在襯底表面上引入許多缺陷的臺階。 氧化鋅(ZnO ZnO能夠成為GaNled燈珠外延的候補基板是因為兩者具有令人吃驚的類似點。兩者的晶體結構相同,晶格識別度非常小,禁止帶寬接近(帶不連續(xù)值小,接觸屏障小)。然而,ZnO作為外延基板的GaN創(chuàng)傷缺陷容易在GaNled燈珠外延生長的溫度和環(huán)境中分解和腐蝕。 目前,ZnO半導體材料不能用于光電子器件和高溫電子器件的制造,主要沒有實際處理材料質量達不到設備水的陡峭的p型摻雜問題,ZnO適合于基礎半導體材料的生長的設備開發(fā)不成功。 |